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共同儀器

分子束磊晶系統

分子束磊晶系統

一、儀器名稱
*中文名稱:分子束磊晶系統
*英文名稱:Molecular beam epitaxy system
*英文簡稱:MBE system

二、儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌:美國, SVT Associates
型號:Model 35-V-2
購置年限:99.08.06

三、重要規格
1.可使用晶圓尺寸:破片至2吋。
2.原、離子源: Zn,Cd,Mg,Se,Te,Mn,Cr,O2,N2,ZnCl2。

四、服務項目
二六族化合物半導體磊晶成長。

五、系統開放等級
1.一般上班時段:D級
2.夜間及假日時段:不開放
附註:
A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。
B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。

六、收費標準 
收費標準 委託操作 委託操作
  學術單位 廠商及研究單位
(1/4)片2” 5000元 8000元
1片2” 7000元 11000元

 

 

 

 

備註:學術單位指各大專院校。

七、開放時間表:
1.週一至週五: 上午08:30-17:00。
2.聯絡人
儀器專家:周武清 教授 分機56129
儀器操作技術員:路承穎 同學 分機56182
儀器放置地點:科三館617室

八、管理辦法及使用辦法:
由本實驗室之技術人員接收委託服務

九、儀器操作預約:
採取時段預約,請於實驗前以校內分機56182,與儀器操作員確認實驗條件與樣品製備。