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共同儀器

掃描電子顯微鏡與電子束微影系統

掃描電子顯微鏡與電子束微影系統

一、儀器名稱

*中文名稱:掃描電子顯微鏡與電子束微影系統

*英文名稱:Scanning electron microscope and E-beam lithography

*英文簡稱:SEM and EBL

二、儀器廠牌、型號、購置年限

廠牌:JEOL

型號:JSM IT-300

購置年限:2016年4月

三、重要規格

     放大物品之影像與控制載台與電子束

    儀器性能:

  1. 電子源: 熱燈絲電子槍
  2. 操作電壓: 0.3 kV to 30 kV
  3. 解析度: 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV)
  4. 放大倍率: ×5 到 ×300,000(依試片本身而定)
  5. 探針電流: 1 pA to 1 μA
  6. 試片尺寸: 12mm x 12mm
  7. 最小線寬:50nm(PMMA)

四、服務項目

     探索樣品形貌與電子束微影

五、系統開放等級

1.一般上班時段:A級、B級、C級、D級

2.夜間及假日時段:不開放

附註:

A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。

B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。

C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。

D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。

六、收費標準

 

委託操作

自行操作

單位 

收費標準

學術單位

學術單位

(交大電物系)

廠商及研究單位

學術單位

廠商及研究單位

二次電子影像

1,000元/小時

500元/小時

1,500元/小時

150元/小時

不開放

電子束微影

1,500元/小時

750元/小時

2,000元/小時

350元/小時

不開放

註:學術單位指各大專院校

七、開放時間表:

1. 週一至週五時段:

週二: 9:00~12:00、13:00~19:00

週三: 9:00~12:00、13:00~19:00

週四: 9:00~12:00、13:00~19:00

週五: 9:00~12:00

2. 夜間及週六、日不開放

 聯絡人:石哲齊

儀器專家:簡紋濱 (校內分機: 56159)

儀器操作技術員:石哲齊 (校內分機: 56183)

八、管理辦法及使用辦法:

  1. 僅開放給通過考核的同學預約,請在紀錄表上填寫實驗室及個人姓名與聯絡電話。
  2. 若預約時段與儀器助教訓練之時段相衝,以助教訓練優先。
  3. 若預約時段與廠商儀器維護時段相衝,以儀器維護優先。
  4. 不得將食物帶入實驗室之內,離開時須將實驗桌面整理乾淨並將椅子排放整齊,如未確實遵守者記警告一次。
  5. 警告累積達三次時,停權一個月。
  6. 電腦請勿任意關機,嚴禁安裝任何外來軟體,不可擅自變更系統設定及上網,未遵守者一律停權。
  7. 實驗室內之所有設備、軟體屬於電物系之財產,不可偷竊及破壞,否則將追究相關責任。
  8. 禁止磁性(含鐵、鈷、鎳成分)、粉末、高分子、生物材料之試片,若有特殊試片須事先與儀器助教確認。
  9. 請自備空白 CD-R/DVD 存取檔案,切勿使用USB存取檔案。

九、儀器訓練操作申請須知

1. 填寫共同儀器申請單。

2. 教育訓練須另計一時段費用。

3. 經儀器助教認可,安排訓練時間。

4. 自考核通過當日起,使用者需於一個月內自行上機使用一次。

十、儀器操作預約:

1. 自行操作請與儀器助教聯絡並填寫共同儀器申請單。

2. 嚴禁非開放時間使用儀器。

3. 預約請確實登記使用者姓名、實驗室與實驗室分機。