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共同儀器

電子束晶圓缺陷檢測設備

電子束晶圓缺陷檢測設備

一. 儀器名稱

*中文名稱: 電子束晶圓缺陷檢測設備

*英文名稱:E-beam inspection tool

*英文簡稱:  eScan310

 

二. 儀器廠牌、型號、購置年限

廠牌: HMI

型號:eScan310

購置年限:2012年03月漢民微測公司捐贈

 

三. 重要規格:

所量測之樣本其缺陷檢測與尺度線寬大於20奈米

 置於載台後的總高度不得大於或小於850微米

 

四. 服務項目

1.樣本缺陷檢測

2.樣本尺度量測

3.本設備應用範圍達奈米尺寸,可觀察材料範圍甚廣,極歡迎物理、化學、材料、電子、光電及生物等不同領域之專家學者,使用此機器從事相關研究,亦歡迎電機、機械、資訊、光學等領域學者對電子束之應用及功能提昇提出新的看法

 

五. 系統開放等級

1.一般上班時段: D

2.夜間及假日時段: 不開放

附註:

․A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。

․B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。

․C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。

․D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。

 

六. 收費標準 

 

 

委託操作

自行操作

     單位

 收費標準

學術單位

非儲金/儲金會員

廠商及研究單位

非儲金/儲金會員

學術單位

非儲金/儲金會員

廠商及研究單位

非儲金/儲金會員

校外

2300/2000

3000/2700

無自行操作

無自行操作

校內

1500/1200

 

無自行操作

無自行操作

經研發處認可之產學合作研究計畫

免費

 

 

 備註:學術單位指各大專院校。 

 

七. 開放時間表:

1.週一至週五: 08:30~05:30

2.夜間及週六、日:不開放

聯絡人

儀器專家:張翼

儀器操作技術員:林俊光

 

八. 管理辦法及使用辦法:

1. 向儀器技術員/助理提出使用申請

2. 儀器技術員/助理於實驗完成後開立繳費通知單給使用者

3. 請使用者攜帶繳費通知單至出納組繳費,並於繳費後將繳費通知單及

    收據影本繳交給儀器技術員

4.校內計畫轉帳-使用者可利用教授在本校執行之各項計畫直接轉帳扣款

(共同儀器校內使用者轉帳核准單請至研發處網頁之共儀中心

各式表格中下載),使用者填妥後請計畫主持人簽核後,交給儀器技術員

 

九. 儀器訓練操作申請須知

本機台不開放操作訓練申請。

 

十. 儀器操作預約:

聯絡人:林俊光先生

聯絡方式:分機 59495 (基礎科學大樓 SC030 室)

 E-mail: tglin@nctu.edu.tw