loading
:::

共同儀器

高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀

高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀

一.儀器名稱

*中文名稱:高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀

*英文名稱:High-Resolution Scanning Electron Microscope & Energy Dispersive Spectrometer

*英文簡稱:SEM S-4700I

二.儀器廠牌、型號、購置年限

廠牌: Hitachi

型號: S-4700I

購置年限: 1998年10月

三.重要規格 : 1. 電子源:冷陰極電子槍

            2. 操作電壓:0.5kV~30kV

            3. 試片尺寸:25mm diameter x 10mm(t)

            4. 解析度:15Å (at 15kV) or 25Å (at 1kV)

            5. 放大倍率50萬倍(依試片本身而定)

            6. 二次電子解析度1.5nm(15kV下)

四.服務項目:高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構.

五.系統開放等級 :  A級

1.一般上班時段:未限制

2.夜間及假日時段: 未限制

附註:

․A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。

․B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。

․C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。

․D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。

※收費標準:

 

委託操作

自行操作

  單位收費標準   

學術單位

 (校外)

學術單位

 (交大)

廠商及研究單位

 學術單位

(限交大通過考核者)

廠商及研究單位

代工費(元/3小時)

    900

900

900

 

 

 不開放

SEM(元/小時)

1,000

100

2,000

100

樣品表面鍍膜(元/分)

500

500

800

500

EDS

  故障停用

備註:1. 學術單位指各大專院校。 2. 校內單位自行操作月累計超過9小時收費減半。

六.開放時間表:

1.週一至週五: 無限制

2.夜間及週六、日:無限制

聯絡人

儀器專家:顏順通教授

儀器操作技術員:范秀蘭

七.管理辦法及使用辦法:

1. 請依照遵循奈米中心管理辦法及使用辦法.

八.儀器訓練操作申請須知:請依照奈米中心儀器操作訓練申請流程相關辦法與規定申請.          

九.儀器操作預約:請至奈米中心儀器設備預約管理系統