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共同儀器

雷射分子束磊晶系統

雷射分子束磊晶系統

一、儀器名稱

*中文名稱: 雷射分子束磊晶系統

*英文名稱:Laser Molecular Beam Epitaxy System

*英文簡稱:Laser MBE

二、儀器廠牌、型號、購置年限

廠牌: Pascal

型號: Compact Laser MBE

購置年限:民國98年,年限五年

三、重要規格 

1.樣品尺寸最大約1 cm by 1cm

2.Ultimate vacuum pressure less than 6.7×10-4Pa (5×10-6Torr)

3.Vacuum pumping line Main pump 800 L/s, TMP Fore pump 237 L/m RP

四、服務項目

高品質功能性氧化物薄膜生長

五、系統開放等級

1.一般上班時段: D

2.夜間及假日時段:A

附註:

․A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。

․B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。

․C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。

․D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。

六、收費標準

 

委託操作

自行操作

     單位

 收費標準

學術單位

廠商及研究單位

學術單位員

廠商及研究單位

一片單層材料

5000

8000

3000

5000

一片雙層材料

7500

12000

4500

7500

一片三層材料

10000

16000

6000

10000

備註:學術單位指各大專院校。

七、開放時間表:

1.週一至週五:8:00 am ~ 18:00 pm

2.夜間及週六、日:開放

聯絡人

儀器專家:朱英豪 分機55328

儀器操作技術員:吳秉駿 分機55374

八、管理辦法及使用辦法:

由本實驗室之技術人員接收委託服務

九、儀器訓練操作申請須知

請電校內分機55374,與儀器操作員商討儀器訓練時間。

十、儀器操作預約:

採取時段預約,請於實驗前以校內分機55374,與儀器操作員確認實驗條件與樣品製備。