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共同儀器

場發射掃描式電子顯微鏡

場發射掃描式電子顯微鏡

一、儀器名稱
*中文名稱: 場發射掃描式電子顯微鏡
*英文名稱:Field Emission Scanning Electron Microscope
*英文簡稱:FE-SEM

二、儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌: JEOL
型號:JSM-6700F
購置年限:2005年12月

三、重要規格
(1)電子槍 冷陰極型式
(2)解析度 1.0 nm (15KV) 2.2 nm (1KV)
(3)電子槍真空度 10-8 Pa以下
(4)倍率 25至650,000倍
(5)加速電壓 0.5 to 30 KV
(6)探針電流 10-13 to 2×10-9 A
(7)試片大小限制 直徑Φ25 mm × 高度10 mm
(8)試片載台 中心式試片台、X-Y移動範圍:70 mm x 50 mm、旋轉範圍:360°、工作距離:1.5 mm to 25 mm、傾斜角度:-5° to +60°

四、服務項目
試片微觀結構觀察(SEM)、表面能階分析
(EDS)

五、收費標準   

 

委託操作

自行操作

     單位

 收費標準

學術單位

非儲金/儲金會員

廠商及研究單位

非儲金/儲金會員

學術單位

非儲金/儲金會員

廠商及研究單位

非儲金/儲金會員

SEI

3000元/時段

4500元/時段

300元/時段

不開放

鍍金

100元/次

200元/次

50元/次

備註:學術單位指各大專院校。

      一時段 3小時計。

六、開放時間表:
1.週一至週日
時段(一) 09:00 ~ 12:00
時段(二) 13:00 ~ 16:00
時段(三) 17:00 ~ 20:00
時段(四) 20:00 ~ 23:00

 

聯絡人:朱正萱小姐 (分機:55327)
儀器專家:吳樸偉教授(分機:31227)
儀器技術員:朱正萱小姐(分機:55327)

七、管理辦法及使用辦法:
1.僅開放給通過Qualify的同學預約,請在預約單上填寫實驗室及個人姓名與聯絡電話,通過Qualify的同學請勿將您個人門禁卡藉他人使用,否則雙方將各處以停權一個月。
2.若預約時段與助教training時段相衝,以助教training優先。
3.若預約時段與廠商儀器維護時段相衝,以儀器維護優先。
4.欲參加訓練及口試者請先至材料系系辦公告欄填寫個人資料。
5.警告累積達三次時,停權一個月。
6.請共同維護室內的整潔,不得將食物帶入實驗室之內,離開時請將工具及椅子排放整齊,如未確實遵守者記警告一次。
7.門禁電腦請勿任意關機,更嚴禁安裝任何遊戲及非法軟體,不可變更系統設定及上網,如未確實遵守一律停權。
8.實驗室內之所有設備、軟體屬於材料系財產,不可偷竊及破壞,否則追究相關責任。
9.個人在上機時段讓非經助教訓練過的同學上機操作一律記警告兩次,如果預約者與使用者不同人,則兩人各記警告兩次。

八、儀器訓練操作申請須知
1. 如有在外校外系取得相同廠牌型號儀器者,欲直接申請訓練儀器者請先附上該項儀器負責教授、研究員親筆簽名證明,申請通過尚需接受一次訓練及口試。
2. 通過JSM-6700F冷場發射型考核者,自考核通過當日算起,使用者需於三個月內自行上機使用一次(視使用記錄簿為依據)。否則需重新接受一次訓練及重新考核。
3. 教育訓練須另計一時段費用。

九、儀器操作預約:
◎自行操作:自行至EF103填寫預約單
1. 僅開放給合格使用者(考核通過且設定門禁)預約登記,無使用權者請勿填此預約單。
2. 登記者請確實登記使用者姓名、實驗室與實驗室分機。未遵守者,記警告乙次。
3. 合格使用者請一次登記一個時段(一時段為三小時)為主,當次操作完畢後才可登記下一次時段。同實驗室不得連續預約操作時段。違者將取消多預約之時段,並記警告乙次。
4. 嚴禁半夜時段(23:00~9:00)使用SEM,違者停權一個月,累犯者取消使用權且3個月後才方可再重新提出申請Training。
5. 預約單中第一週不得擅自塗改取消已預約時段,違者將記警告乙次並收取雙倍費用。
◎委託操作:請先與助教或技術員聯繫。

十、備註
@請自備空白光碟片CD-R 。
@由於觀察區域可能產生差異,因此上機時請在旁陪同。
@由於電子槍須在超高真空下操作,為防止試片上吸附水氣及雜物影響觀察,試片最好加熱烘烤後,再置入試片室中。未處理之試片可能無法觀察到超高解析影像。