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共同儀器

高真空變溫掃描探針顯微鏡

高真空變溫掃描探針顯微鏡

一、儀器名稱
中文名稱︰高真空變溫掃描探針顯微鏡
英文名稱︰Variable Temperature Scanning Probe Microscope (under ambient condition or in high vacuum, at 100 – 1000 K)
英文簡稱︰VT SPM

二、儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌︰日本SII Nanotechnology Inc.
型號︰SPA-300HV
購置年月︰2004年6月

三、重要規格
本套設備提供室溫大氣下的STM(掃描穿隧電流顯微鏡), AFM(原子力顯微鏡), MFM(磁力顯微鏡)等掃描探針顯微鏡功能,並可用幫浦抽真空達高真空(5 X 10-6 torr),在真空環境下可加熱達600 K以上,或冷卻到100 K低溫下操作。
用途:奈米尺度之表面形貌量測
解析度:X,Y:0.2 nm、Z: 0.01 nm (scanner:150 um、20 um)
掃描功能與探針:Contact mode atomic force microscope (AFM), Lateral force microscope (LFM), Conducting contact mode atomic force microscope (C-AFM), Tapping mode atomic force microscope (DFM), Magnetic force microscope (MFM), Scanning tunneling microscope with I-V and CITS (STM)
真空:Rotary pump and Turbo pump,可至2.0 X 10-6 Torr
溫度控制:低溫下量測可至-150°C,高溫下可達300°C,樣品最高可至800°C停留10分鐘

四、服務項目
表面形貌(Surface topography, 原子力顯微鏡可達一奈米解析度)、表面電性量測、表面磁性量測

五、系統開放等級
1. 一般上班時段,開放給校內使用者及校外專案申請者,可自行操作或由專業人員代為操作。(A級與D級)
2. 夜間及假日時段,開放給校內使用者及校外專案申請者,須由專業人員代為操作。(D級)
附注︰
 A級︰開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。
 B級︰每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
 C級︰由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
 D級︰由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。

六、收費標準

單位 費用
電物系上 500元/hr
學術單位 1000元/hr
非學術單位 2000元/hr

(探針另計)

七、開放時間表
1. 週一至週五:9:00AM – 5:00PM
2. 夜間及週六、日:洽儀器專家或操作人員

儀器專家︰簡紋濱教授 TEL: 03-571-2121 Ext: 56159
儀器操作技術員︰陳毅 TEL: 03-571-2121 Ext: 56183、56190 
儀器放置地點:國立交通大學光復校區,科三館B107室(電物系)

八、管理辦法及操作辦法︰
外校使用者可採用下列兩種模式︰(一)委託測試(二)申請訓練,考試合格後預約時間自行上機。

九、儀器訓練操作申請須知︰
1. 填寫共同儀器操作申請單
2. 經儀器專家認可,安排訓練時間。

十、儀器操作預約
1. 填寫共同儀器操作申請單
2. 經儀器專家認可,安排使用時間。