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貴重儀器

掃描歐傑電子微探儀

掃描歐傑電子微探儀

儀器名稱
中文名稱:歐傑微探能譜儀
英文名稱:Auger Electron Microprobe
儀器室地點:國立交通大學 工程六館M215室

儀器廠牌、型號、購置年限
廠牌:英國 VG Scientific
型號:Microlab 350
購置年限:2004年11月

重要規格
加速電壓:0.5~25kV
放大倍率:X200~X500, 000(WD 15mm)
二次電子影像解析度:7nm(25kV)/35nm(3kV)
掃描歐傑電子影像解析度:12nm(25kV)
電子能量分析器:球面扇狀分析器(SSA)
能量解析度:0.02~2.0%
離子源:0.1~5kV,電流 >5μA at 4kV
ESCA( XPS) X光源:雙陽極Mg Kα/Al Kα(面積>5mm)
試片最大尺寸:38mm(直徑)×8mm(高度)
載台移動範圍:X/Y = ±9mm/ ±6mm, Z=+5/-15mm.
Tilt= -20~90°, Rotation= 0~360°
抽真空速率:~20分鐘

功能
1.Auger表面成份分析
2.Auger point analysis and mapping微區元素與成份分佈分析
3.Auger depth profiling縱深成份分析
4.ESCA(XPS)表面成份定性及定量分析
5.ESCA(XPS)化學位移(chemical shift)分析

服務項目

服務項目 可能獲得之資訊內容
表面定性分析(Survey Scan) 鑑定樣品表面各種化學元素之存在
歐傑電子微區分析(Auger Point) 鑑定樣品表面選定微區之成份
歐傑電子元素影像掃描 (Auger Mapping) 獲取化學元素在樣品表面之二維分布影像圖
歐傑電子縱深分析(Auger Depth profiling) 離子蝕擊下,樣品之各種化學元素的縱深分布
XPS化學態/成分分析 分析元素化學態及成分鑑定

系統開放等級:
1.B級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。
2.A級:B級執照者上機時數累積達30hr方可申請考試為A級執照。

附註:
˙A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。
˙B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
˙C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
˙D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。

開放時間表:

  上午
8:30~12:30
下午
13:30~17:30
週一 儀器維護 委託服務時段
(校外優先登記)
週二 自行操作時段(B級)
(校外優先登記
委託服務時段
(校內優先登記)
週三 訓練時段 委託服務時段
(校外優先登記)
週四 委託服務時段
(校內優先登記)
委託服務時段
(校內優先登記)
週五 考核時段 委託服務時段
(校外優先登記

*B級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。
*A級:B級執照者上機時數累積達30hr方可申請考試為A級執照。

申請服務辦法(預約規則以科技部網頁為準,時段彈性開放)
1.技術員操作服務
*請先上科技部貴儀網頁(https://vi.most.gov.tw/nsc-vi/index/default.action)預約時段(每月25日凌晨00:00開放預約次月時段,依上表優先預約;校外優先時段,若開放7天後未預約額滿,技術員得開放給校內外人士預約),詳細說明待測樣品之性質和委託項目,依申請之時段服務,預約者請參考相關規定,以免付款方式有誤。若因故無法在預約時段前,送達待測試片,應至少在預約時段前一星期上網取消預約,預約未到者,收取一小時之基本費用。
*每位委託使用者只能預約4個時段/月(四小時為一時段),每次送測樣品數:Auger Depth:1個樣品/時段,XPS:表面分析最多以6個樣品為限/時段,待量測完畢後才可再預約;不合規定者將自動取消不另行通知。
*擷取微區定位圖譜或影像時,送測單位必須有人伴隨在側。
*有關數據結果之解釋,請自行負責。
*送測樣品若因未事先書面要求樣品前置處理,而致無法獲取所欲得之圖譜,送檢單位仍需依工作時數付費。
*請自行攜帶空白光碟、隨身碟或空白磁片,做為分析數據之存取。
*需繳交科技部貴重儀器使用申請表(指導教授需簽章)。

2.自行操作服務:
由取得「合格執照之博士生」自行上機操作。
(註:須達到A級才可夜間及六日自行操作)
*自行操作之儀器使用預約,以實驗室為單位,預約限制次數:4個時段/月,量測完畢後才可再預約,不合規定者將自動取消不另行通知。
*自行操作者每次使用前需先至電向技術員預約使用時間(依時段預約),經核准後,依序上機操作使用,量測完畢後才可再預約。
*若因故無法在預約時段使用儀器時,應至少在預約時段前一星期上網取消預約,否則仍以原預約時段付費。
*樣品進入時,儀器系統之entry chamber的壓力需達1×10-3torr。
*樣品分析前,應確定儀器系統之analysis chamber壓力<5×10-9torr,方可打開電子鎗及偵測器之電源開關,進行分析。
*使用本儀器時,任何非正常使用所造成之損壞,將酌請自行操作者之指導教授及其主管負擔儀器設備維修費用。
*儀器使用者必須確實填寫實驗紀錄簿。
*禁止攜帶食物、飲料進入儀器室食用,且需保持儀器室的整潔。
*實驗完成後,請把樣品退出,不得留置於analysis chamber內。
*實驗完成後應關掉analysis chamber燈。

3. 樣品規格:
*樣品不得具有液體、粉末、磁性、毒性、輻射性、高分子(含有高揮發性分子或覆膜)或對真空腔體零件造成蝕損。
*樣品以低非揮發性為限,避免對超高真空系統造成污染。
*面積小於 0.8cm * 0.8cm之正方形,或直徑 < 1cm之圓形,厚度 < 0.2cm。
*代測服務之樣品請送兩件,以供測試發生困難時之需。
*分析測試時,若發現送測樣品不符合規定,將退回樣品,並依工作時數付費。
*進行depth profile時,sputter時間以3.5小時為限,請自行斟酌試片厚度。

4. 取得合格執照之辦法
目的:為充份利用此貴重儀器,決定開放給合格之使用者使用,以疏解過量的服務需求,並收人才訓練之效益。
辦法: 如何取得 「使用執照」:
*各研究室應由指導教授或單位主管推薦一名博士生,提出申請。
*申請資格:須修習過相關材料分析技術課程或具有電子顯微鏡操作經驗者。
*該博士生應填寫「教育訓練申請單」(A級或B級),經由儀器技術員排定訓練時間。
*本儀器將提供教育訓練並以「訓練操作」及「操作觀摩」方式,達到主要使用者之研究室自行操作的目的。「訓練操作」:由助教負責教授機台結構及操作步驟;「操作觀摩」:向合格執照之使用者,學習其操作技巧。
*B級訓練次數為4週,操作觀摩需2次以上;A級訓練次數為2週。
*操作考試經助教或技術員以及儀器負責教授評定合格者,即取得「合格B級或A級操作者」資格。
*B級操作者須累積操作時數達到30小時以上,才可申請A級操作者資格。
*該名博士生取得〝使用執照〞後,需協助執行自己實驗室人員之Auger分析工作。
*若需另行練習操作(需有合格使用執照人員在旁)其費用,皆照技術員操作服務計費(收費標準:每小時3000元)。
*若二次沒通過操作考試,且在操作時有嚴重錯誤者,本實驗室保留婉拒受訓學生親自操作使用的權利。
*使用本儀器時,任何非正常使用所造成之損壞,自行操作者之指導教授及其主管應負儀器設備維修費用。
*取得「合格執照之使用者」,若經2個月未操作本儀器,則其資格需重新認定。
*受訓及使用期間須遵守實驗室相關規定。

收費標準

1. 委託服務收費標準為每小時3000元,依時段計費,超過4hr 皆以實際服務時數計費。(包含樣品處理時間,樣品抽真空時間、關機等待及數據處理的時間);急件收費為每小時4500元;自行操作者使用酌收儀器保養費每小時2000,列印數據每張50元。(遲到時間仍視為服務時間計費。)

2.教育訓練之費用,皆照技術員操作服務計費(收費標準:每小時3000元),B級受訓請預約三個時段;A級受訓請預約一個時段,並說明為training所用之預約。

回件時間
依待測樣品數量及預約時間而定,約2週~1個月。

聯絡人
儀器指導教授:徐雍鎣教授 TEL: (03)5712121#55317
儀器操作員:黃綉吟小姐 TEL: (03)5712121#55358(EF110 辦公室)#55339(EF215實驗室)
儀器助教:鄭益凱先生 TEL: (03)5712121#55322
儀器助教:張正一先生 TEL: (03)5712121#55322
諮詢服務:儀器操作員:黃綉吟小姐

申訴電話及信箱
徐忠璇小姐 TEL:03-5712121轉31534、31248,03-5131534,
賴卓君小姐 TEL:03-5712121轉31775,03-5731775,
中心專線電話:TEL:03-6116690

Auger 實驗室自行操作管理辦法
中華民國 九十七年 五月 二十八日修訂
1. 擁有A、B級操作資格者,可按使用規定在「A、B級自行操作」時段使用。
2. 未經核准擅自操作使用者,取消使用執照。
3. 核准操作,但私自訓練生手,屬於重大違規事件,第一次罰停權六個月,第二次取消使用執照。
4. 取得操作資格後,前二次使用必需有合格執照使用者陪同,違規取消執照。
5. 操作時犯嚴重錯誤者將取消使用執照,6個月後重新訓練。
6. 操作時犯有輕微錯誤者記警告一次,累計二次警告者停權一個月。
7. 未依預約時段,擅自操作使用者,記警告一次,累計二次警告者停權6個月。
8. 停權四個月以上者,需重考操作考試,以重新取得使用資格。
9. 以下視為嚴重操作錯誤:
(1) 因人為疏忽導致系統停機當真空。
(2) 毀損儀器。
(3) 未經許可調整儀器以下部分 a.電子槍 b. ion gun c. 軟體內設定好的參數
(4) 操作ESCA時,未開啟冷卻水。
10. 以下視為輕微操作疏忽
(1) 氮氣總開關沒關。
(2) Ar開關沒關。
(3) 將樣品或holder掉落真空腔體內。
(4) 沒確實填寫申請表或實驗紀錄簿。
(5) 試片座之xyz軸未歸0。
(6) 主分析腔的照明燈未關閉。