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貴重儀器

球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡

球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡

儀器名稱
廠牌型號:JEOL ARM200F
中文名稱:球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡
英文名稱:Spherical Aberration Corrected Scanning Transmission Electron Microscope
英文簡稱:Cs-corrected STEM
儀器地點:基礎科學教學研究大樓(科學三館)地下一樓SC022室
購置日期:2011年12月
加入貴儀日期:2012年6月
經費來源:科技部、教育部、國立交通大學

儀器重要規格
1.加速電壓:200 kV
2.電子槍系統:Schottky Field Emission Gun (FEG)
3.解析度(200kV):
TEM Lattice resolution:0.072 nm
TEM Point resolution:0.190 nm
TEM Optical information limit:0.107 nm
HRTEM mode (UHR pole piece, Cs = 0.5 mm, Cc = 1.1 mm)
STEM BF image resolution:0.136 nm
STEM HAADF image resolution:0.082 nm
STEM aberration free area angle:36.63 mrad
4.雙傾斜試片座其試片傾斜角度:正負25度。
5.STEM球像差修正器(Spherical aberration Corrector)。
6.STEM BF/HAADF檢測器(High Angle Annual Dark Field Detector)。
7.X光能量散佈分析儀(EDS) : Si drift detector (SDD), Energy resolution 127eV。

服務項目
TEM明視野影像(Bright Field)、高分辨影像(HRTEM)、STEM影像(ABF/HAADF);不提供直接擇區繞射圖形(SAD)之儲存,但可儲存經由軟體處理轉換的繞射圖形。奈米尺寸之X光EDS能譜(B5~U92),STEM包含EDS Point ID/Line Scan/Mapping。

開放時段

開放時間
(2017年5月起適用)
上午 下午 晚上
星期一 09:00 - 12:00
委託操作
13:30 - 16:30
委託操作
18:00 - 21:00
自行操作
星期二 09:00 - 12:00
委託操作
13:30 - 16:30
委託操作
18:00 - 21:00
自行操作
星期三 09:00 - 12:00
委託操作
13:30 - 16:30
委託操作
18:00 - 21:00
自行操作
星期四 09:00 - 12:00
委託操作
13:30 - 16:30
委託操作
18:00 - 21:00
自行操作
星期五 09:00 - 12:00
自行操作
13:30 - 16:30
自行操作
18:00 - 21:00
自行操作
星期六 09:00 - 12:00
自行操作
13:30 - 16:30
自行操作
18:00 - 21:00
自行操作
星期日 09:00 - 12:00
自行操作
13:30 - 16:30
自行操作
18:00 - 21:00
自行操作

 

收費標準
TEM/STEM/EDS (試片安裝、真空抽取、電子光學校準、檔案傳輸亦涵蓋在時段內)
1.委託操作:15,000/時段,每一時段以三小時計,未滿者亦以一時段計費,超過一小時加收5,000元。業界單位委託操作比照上述委託時段收費,100%現金繳費。
2.自行操作:6,000/時段,每一時段以三小時計,未滿者亦以一時段計,超過一小時加收2,000元。
3.TEM影像檔及EDS檔案每一檔案處理費用100元。(本儀器無底片存取裝置)為避免設備中毒,禁用隨身碟進行資料傳輸;請自備可燒錄之空白光碟儲存資料(VCD/DVD皆可)。
 

儀器預約辦法
1.儀器預約請上科技部貴儀資訊管理系網頁預約 https://vi.most.gov.tw/nsc-vi/index/default.action
2.每月20日中午12點開放次月TEM預約,預約5日內回傳預約申請單,預約申請單未回傳視為預約未完成,本單位有權取消該次時段。
3.欲取消預約請在五天前,自行上網取消,當日實驗未到且未電話通知者,視為爽約,該時段仍扣款原預約時段三小時費用。
4.欲取消預約但已少於五天內(不含實驗當日),無法自行取消者,請先電話連絡或寫信告知,該時段仍扣款一小時基本費。
6.預約申請單繳交,請拍照或掃描傳送至技術員信箱nctu.arm200f@gmail.com

管理辦法及試片限制
1.本實驗室非TEM試片製作單位,請先準備可觀察之TEM試片來進行實驗。
2.待測樣品應為固態材料且應具有適當、足夠的機械強度,以避免在進出電鏡或在檢測的操作過程中,發生剝落、碎裂的狀況,恕不受理。
3.低熔點的材料如銦、錫等,會產生相變及蒸鍍效應,恕不受理。
4.在電子束照射下會分解或釋出氣體且礙及真空之樣品,如有機物、高分子、生物性或鐵磁性粉末樣品等,恕不受理。
5.具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末形式樣品或材料,如鐵、鈷、鎳…等粉體,恕不受理。
6.具有放射性或毒性之樣品,恕不受理。
7.In-situ及加熱型測試服務,恕不受理。
8.所有以水溶液滴到銅網上樣品,皆需要經過充分乾燥除去水氣;樣品送到本實驗室後,仍需經過本實驗室人員再次烘烤十分鐘後才可以上機。若因試片充滿水氣而造成機台汙染,則預約單位需要共同負擔機台維修費用。
9.待測樣品若因清淨度或其他非顯微鏡因素而無法得到規格之解析度,仍依上述收費標準收取費用。[STEM < 0.1 nm resolution需要較長調校時間,且樣品需要具有適當之區域及經過電子束輻照(Beam showering)]
10.委託操作者上機之前,本單位會再次要求確認送來檢測的樣品種類,請委託者誠實申報。如果發現申報不實,本單位將取消其所屬實驗室的所有人預約資格六個月。若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。
11.具自行操作資格人員,若擅自使用CCD直接拍攝繞射圖形或擅自放入上述有害的試樣於本儀器者,加重處罰吊銷其操作資格一年。若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時,所隸屬單位及其指導教授須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。

系統開放等級
A級.委託服務,由本實驗室技術人員操作。
B級.由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,需先通過研究所電子顯微鏡學的課程,經考核通過後可自行操作儀器並得負責委託服務工作。
C級.限定每位教授/實驗室一名博士班三年級以下學生,需先通過研究所電子顯微鏡學的課程,且必須具有交通大學奈米科技中心JEOL-2100F考核通過的使用資格方可申請接受訓練。訓練時間為20個時段,考核通過標準以STEM解析度0.08nm為合格,訓練費用依照委託操作收費標準收取。未通過考核之前除技術員或助教在旁協助,嚴禁自行操作;通過執照考核後取得C級資格,即可自行操作。

聯絡人
儀器指導教授:張立教授
TEL:03-5712121#31615,E-mail:lichang@cc.nctu.edu.tw
儀器諮詢及操作服務:高淳瑜小姐
TEL:03-5712121#56156,E-mail:nctu.arm200f@gmail.com
申訴電話中心專線:03-6116690
徐忠璇小姐
TEL:03-5712121#31534,E-mail:jsshiu1207@mail.nctu.edu.tw
賴卓君小姐
TEL:03-5712121#31775,E-mail:cclai@faculty.nctu.edu.tw