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貴重儀器

三五族分子束磊晶系統
三五族分子束磊晶系統奈米中心1樓R110室
儀器專家:林聖迪 教授
分機:31240
技術員:吳儲君小姐
技術員分機:54248
雷射光罩製作系統Ⅱ(雷射圖形產生系統Ⅱ) (DWL-200)
雷射光罩製作系統Ⅱ(雷射圖形產生系統Ⅱ) (DWL-200)固態電子系統大樓139室
儀器專家:趙天生 教授
分機:31367
技術員:蔡慶祥 先生
技術員分機:55605(O)、55616(L)
雷射光罩製作系統 Ι (雷射圖形產生系統 Ι) (DWL-2.0)
雷射光罩製作系統 Ι (雷射圖形產生系統 Ι) (DWL-2.0)固態電子系統大樓118室
儀器專家:趙天生 教授
分機:31367
技術員:黃國華 先生
技術員分機:55659(O)、55667(L)
光罩對準曝光機
光罩對準曝光機固態電子系統大樓120室
儀器專家:侯拓宏 教授
分機:54261
技術員:范秀蘭 小姐
技術員分機:55672(O)、55667(L)
I-line光學步進曝光機
I-line光學步進曝光機固態電子系統大樓139室
儀器專家:侯拓宏 教授
分機:54261
技術員:蔡慶祥 先生
技術員分機:55605(O)、55616(L)
氧化擴散系統
氧化擴散系統固態電子系統大樓121室
儀器專家:劉柏村 教授
分機:52994
技術員:林聖欽 先生
技術員分機:55668(O)、55610(L)
低壓化學氣相沈積系統
低壓化學氣相沈積系統固態電子系統大樓 1樓127室
儀器專家:劉柏村 教授
分機:52994
技術員:賴玟言 先生
技術員分機:55606(O)、55610(L)
電漿輔助化學氣相沈積系統
電漿輔助化學氣相沈積系統固態電子系統大樓116室
儀器專家:林鴻志 教授
分機:54193
技術員:范揚禎 先生
技術員分機:55671(O)、55610(L)
熱阻絲蒸鍍系統
熱阻絲蒸鍍系統固態電子系統大樓3樓
儀器專家:鄭裕庭 教授
分機:54169
技術員:陳悅婷 小姐
技術員分機:55657(O)、55608(L)