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貴重儀器

三五族分子束磊晶系統
三五族分子束磊晶系統奈米中心1樓R110室
儀器專家:林聖迪 教授
分機:31240
技術員:吳儲君小姐
技術員分機:54248
光罩製作系統Ⅱ(圖形產生系統Ⅱ) (DWL-200)
光罩製作系統Ⅱ(圖形產生系統Ⅱ) (DWL-200)固態電子系統大樓139室
儀器專家:趙天生 教授
分機:31367
技術員:蔡慶祥 先生
技術員分機:55605(O)、55616(L)
光罩製作系統 I(圖形產生系統 I) (DWL-2.0)
光罩製作系統 I(圖形產生系統 I) (DWL-2.0)固態電子系統大樓118室
儀器專家:趙天生 教授
分機:31367
技術員:黃國華 先生
技術員分機:55659(O)、55667(L)
光罩對準曝光機
光罩對準曝光機固態電子系統大樓120室
儀器專家:侯拓宏 教授
分機:54261
技術員:趙建允 先生
技術員分機:55670, 55667
氧化擴散系統
氧化擴散系統固態電子系統大樓121室
儀器專家:劉柏村 教授
分機:52994
技術員:林聖欽 先生
技術員分機:55668(O)、55610(L)
低壓化學氣相沈積系統
低壓化學氣相沈積系統固態電子系統大樓 1樓127室
儀器專家:劉柏村 教授
分機:52994
技術員:賴玟言 先生
技術員分機:55606(O)、55610(L)
電漿輔助化學氣相沈積系統
電漿輔助化學氣相沈積系統固態電子系統大樓116室
儀器專家:林鴻志 教授
分機:54193
技術員:賴玟言 先生
技術員分機:55606(O)、55616(L)
介電材料活性離子蝕刻系統(RIE-200L, P5000E)
介電材料活性離子蝕刻系統(RIE-200L, P5000E)固態電子系統大樓116室
儀器專家:崔秉鉞 教授
分機:31570
技術員:陳明麗 小姐、胡進章 先生
技術員分機:55660(O)、55666(L) ; 55607(O)、55666(L)
冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器
冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器工程六館212室
儀器專家:顏順通 教授
分機:31471
技術員:范秀蘭 小姐
技術員分機:55337
聚焦離子束與電子束顯微鏡
聚焦離子束與電子束顯微鏡工程六館 213室
儀器專家:吳耀銓 教授
分機:31555
技術員:林聖欽 先生(暫代) 劉悅恩 小姐(休假中)
技術員分機:55668(O)、55368(L)