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貴重儀器

雙電子鎗蒸鍍系統A
雙電子鎗蒸鍍系統A固態電子系統大樓3樓
儀器專家:鄭裕庭 教授
分機:54169
技術員:陳悅婷 小姐
技術員分機:55657(O)、55608(L)
雙電子鎗蒸鍍系統B
雙電子鎗蒸鍍系統B固態電子系統大樓 3 樓
儀器專家:鄭裕庭 教授
分機:54169
技術員:溫鋐明 先生
技術員分機:55657(O)、55608(L)
真空濺鍍系統A
真空濺鍍系統A固態電子系統大樓3樓
儀器專家:鄭裕庭 教授
分機:54169
技術員:詹佳期先生
技術員分機:55622(O)、55610(L)
真空濺鍍系統B
真空濺鍍系統B固態電子系統大樓3樓
儀器專家:鄭裕庭 教授
分機:54169
技術員:陳悅婷小姐
技術員分機:55657(O)、55608(L)
複晶矽活性離子蝕刻系統
複晶矽活性離子蝕刻系統固態電子系統大樓116室
儀器專家:陳冠能 教授
分機:31558
技術員:陳明麗 小姐、胡進章 先生
技術員分機:55660(O)、55666(L) ; 55607(O) 55666(L)
高密度活性離子蝕刻系統
高密度活性離子蝕刻系統固態電子系統大樓116室
儀器專家:陳冠能 教授
分機:31558
技術員:陳明麗 小姐、胡進章 先生
技術員分機:55660(O)、55666(L) ; 55607(O)、55666(L)
介電材料活性離子蝕刻系統
介電材料活性離子蝕刻系統固態電子系統大樓116室
儀器專家:崔秉鉞 教授
分機:31570
技術員:陳明麗 小姐、胡進章 先生
技術員分機:55660(O)、55666(L) ; 55607(O)、55666(L)
冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器
冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器工程六館212室
儀器專家:顏順通 教授
分機:31471
技術員:范秀蘭 小姐
技術員分機:55337
多腔體電漿蝕刻系統
多腔體電漿蝕刻系統固態電子系統大樓127室
儀器專家:崔秉鉞 教授
分機:31570
技術員:陳明麗 小姐、胡進章 先生
技術員分機:55660(O)、55666(L) ; 55607(O) 55666(L)
聚焦離子束與電子束顯微鏡
聚焦離子束與電子束顯微鏡工程六館 213室
儀器專家:吳耀銓 教授
分機:31555
技術員:林聖欽 先生(暫代) 劉悅恩 小姐(休假中)
技術員分機:55668(O)、55368(L)